Начало подготовки специалистов приборостроительного направления в БПИ-БГПА-БНТУ было положено в 1961 году созданием кафедры «Приборы точной механики». Ее первым заведующим, который возглавлял кафедру на протяжении 23 лет, был заслуженный работник высшей школы БССР, профессор С.С. Костюкович.
Развитие оптической промышленности сделало необходимым открытие в 1976 году оптико-механического факультета, который в разной время возглавляли доцент Р.И. Томилин, доцент В.И. Клецко, профессор М.Г. Киселев. В связи с дальнейшим расширением перечня востребованных приборостроительных специальностей в 1978 году был открыт инженерно-физический факультет, деканами которого были профессор Г.С. Круглик и доцент А.Г. Литвинко. В 1984 году оптико-механический и инженерно-физический факультеты были объединены в один – инженерно-физический, который в следующем году был переименован в приборостроительный факультет.
С 1984 по 1998 год деканом приборостроительного факультета являлся заслуженный работник образования Республики Беларусь, профессор М.Г. Киселев. Позже факультет возглавляли доцент В.И. Шамкалович, профессор О.К. Гусев, профессор А.М. Маляревич. В настоящее время факультетом руководит доцент А.И. Свистун.